プロセス改善 / 事例集

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プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策

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SCV サブマージブルバルブ®　KD-Sシリーズ

 

原子層堆積（ALD）プロセスに適したバルブです。

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SCV サブマージブルバルブ®　KD-Sシリーズ

 

原子層堆積（ALD）プロセスに適したバルブです。

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排気ラインの副生成物対策事例集

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半導体製造装置　排気系ラインの省スペース化

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ガス供給ラインバルブの安全対策

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原料容器用バルブの安全対策

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装置輸送時のバルブハンドルゆるみ対策

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ヒューマンエラーによるバルブ誤操作対策

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原料容器接続継手の安全対策

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隣接装置の振動による継手緩み対策

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手動ダイヤフラムバルブの安全対策

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高温・ALDプロセスで使用可能なバルブ

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分解洗浄を可能としたダイヤフラムバルブ

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固体材料供給における高温化の課題への提案

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SCV サブマージブルバルブ®　KD-Sシリーズ

 

原子層堆積（ALD）プロセスに適したバルブです。

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原子層堆積（ALD）プロセスに適したバルブです。

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